昭和電工高純度HF供給體制強化 2015-04-23 回索引頁
 

昭和電工半導體製程中COR使用之特殊氣體高純度HF的供給體制強化。川崎工廠既存設備能力於3月時向上提升2倍。再加上在中國的新設備建設,預定2015年中開始稼働。